系统特点：

1.   采用高功率高稳定超快紫外激光直接烧蚀气化材料，微米级加工线宽，无热影响区。

2.   优异的光束整形设计，可对光束空间分布、偏振等调整，拓展微细加工能力。

3.   高精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现小幅面高速精细加工，加工精度优于±2μm，局部尺寸 精度优于 2μm。

4.   通过高精度直线电机驱动平台平移实现大幅面精密加工，重复精度高达±1 μm。

5.   Z 轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足三维结构精细加工要求。

6.   扩展精密旋转轴，可对异形件进行精细结构成型。

7.   高分辨率工业相机，用于振镜全幅面误差校正、高精度定位和对焦、刻蚀深度测量以及加工尺寸测 量。

8.   在机功率检测补偿，保证长时可靠加工。

9.   最大支持 256 个图层参数加工，支持 dxf、AI、PNG 等二维、三维矢量和图片文件加工。

10. 采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度。

11. 可用于加工玻璃、有机物、金属、陶瓷等基本所有固体材料，实现精细蚀刻、盲孔、通孔、开槽、切 割等。

  产品优点：

1.微米级加工线宽

采用高功率高稳定超快紫外激光，能够实现微米级加工线宽，最小线宽小于10μm。激光的超短脉宽（小于500fs）确保加工过程中材料无热影响区，保持材料原有性能，特别适合对热敏感材料的精密加工。该特点使得系统在微孔加工、精细掩膜制作等场景中具有显著优势，提升产品精度和质量。

2.无热影响区加工

超快激光加工通过材料的冷烧蚀机制，避免了传统激光加工中的热扩散问题，确保加工区域无热影响区。这使得加工后的材料表面平整度高，无毛刺，特别适用于对热敏感的材料如有机物、玻璃等。无热影响区加工特性有效提升了产品的质量和使用寿命，满足精密制造的高要求。

3.在机功率检测补偿

系统配备在机功率检测装置，能够实时监测激光功率并进行动态补偿，保证长时可靠加工。功率检测反馈机制有效应对激光器功率波动，确保加工参数的稳定性和一致性，提升加工质量的可重复性。该功能在长时间连续加工场景中尤为重要，保障了产品的高质量输出。

4.高分辨率工业相机应用

系统集成500万像素高分辨率工业相机，用于振镜全幅面误差校正、高精度定位和对焦、刻蚀深度测量以及加工尺寸测量。相机的光学视场范围覆盖小于0.4mm和大于1mm，满足不同加工场景的监测需求。高分辨率成像能力提升了监测精度，有效保障了加工过程的可控性和产品质量。

5. 数据校正与反馈

系统利用工业相机数据进行振镜全幅面误差校正，通过实时图像反馈调整振镜位置，确保加工精度。误差校正机制有效补偿了振镜运行中的微小偏差，提升加工的一致性和重复性，特别在精密微型结构加工中，显著提升了产品合格率和生产效率。

  应用范围：

医疗器械、精密工具、精密微型模具成型、精细掩膜制作、微孔加工等

  系统参数：

  应用案例：